アナログICの基幹工場

温暖な気候と豊富な水資源に恵まれ、江戸時代から続く繊維業をはじめ、楽器、バイクなど世界的なものづくり企業を育んできた土地として知られる浜松。

ローム浜松株式会社はこの地で1999年、ロームIC製品/LED製品の「前工程」を担う基幹工場として操業を開始しました。以来、デジタル市場の発展、市場のグローバル化、そして脱炭素・循環型社会へと変動する潮流の中、それぞれの時代のニーズに応える製品を市場に送り出してきました。

ロームが得意とするアナログICに特化した先進のデバイス・プロセス技術、生産設備を備え、ロームの生産するICの約70％以上を生産。8インチ、12インチの2つの生産ラインを有する工場からは、月産5万枚を超えるウエハが出荷されています。（※8インチ換算）

工場全体の延べ面積約30,000㎡、クリーンルームの中央を貫く通路の長さは工場棟と西工場棟をあわせて約160ｍというスケールの中で、つくり出されるICの種類はなんと約1,000種以上。
大量生産用ラインの他に複数の生産ラインを組み合わせた複雑な生産体制で「多品種・大量生産」を実現し、さまざまなお客さまの要望にお応えしています。

モビリティ社会の進化とともに

現在、ローム浜松の生産品目の中で生産量が際立っているのが自動車向けの製品です。1999年の設立当時より手掛けてきた分野ですが、少しずつお客さまからの信頼を高め、今ではローム浜松の生産全体の60％を占めるようになっています。

百年に一度の大変革と言われるEV/HEVへの転換、ASV（先進安全自動車）の普及や自動運転の進化をはじめとする電子部品の飛躍的な増加にともない、自動車向け製品のニーズはまだまだ右肩上がりが続くと考えられています。

ただ同時に、車載製品はエンドユーザーの安全性に直接関わってくるため、製品の安全規格や信頼性規格も非常に厳格なものとなります。（例：AEC-Q100・IATF16949・ISO26262など）

これまでに30億個以上のICを自動車関連のお客さまに供給してきたというローム浜松。長年にわたって積み重ねられたこの数字は、徹底した品質管理と厳しい要求に応えてきた証ともいえるでしょう。

単に要求仕様を満たすだけで自動車への採用が決まるような市場ではないことは言うまでもありません。
どのようにお客さまの信頼を獲得し、今日の生産の主軸と呼べる分野にまで成長させることができたのかを、LSI生産本部第1製造部の山下氏に聞いてみました。

BiCDMOS12インチ（300mm）への挑戦

当時のBiCDMOSプロセスは8インチが世界的に主流でして、我々も８インチラインで生産していました。プロセスノードも0.6μmだったんですが、ローム浜松では既に通常の12インチウエハのラインは稼働していましたし、またCMOS微細化技術も保有していました。

ロームとしてはアナログICでの競争力をさらに高めなければならない、とうことで2006年から、BiCDMOSプロセスの微細化・大口径化・・・つまり12インチ/0.35μmに同時にチャレンジし始めました。当時はその他にもプロセスラインの開発立ち上げが同時進行していて、多くの若いエンジニアと一緒に、まさに24時間体制で開発を進めていました。」

昨今の勤務体系では絶対にあり得ない話ですが、と苦笑しながら話してくれた山下氏。
「もう一度やれと言われたら、正直厳しいかもしれませんが」と前置きしながらも、そのチャレンジこそが、ローム浜松BiCDMOSプロセスのすべての起源になっている、という強い確信が伺えました。

革新を支える現場力

グローバルメジャー企業も未だ実現していない「12インチBiCDMOSプロセス」に真っ向から挑むようになった背景には、ロームならではの「強み」がありました。

それは、創業以来、脈々と培ってきた製造装置の自社開発技術です。ローム浜松では、プロセスに最適化させた内製の製造装置に加え、製造装置のメーカー技術者と共にチューニングした購入装置を、バランス良く組み合わせて独自の生産ラインをつくり上げています。

12インチ生産ラインの立ち上げ当時は、そのほとんどが内製装置だったこともあり、チャレンジの糸口を自分達の力で手繰り寄せることができたのではないでしょうか。

LSI生産本部第1製造部設備技術1課 谷口氏に当時を振り返ってもらいました。

装置のことだけでなく、ウエハプロセスそのものを深く理解する技術者の知見が、脈々と受け継がれていたからこそ突破できた壁でしたね。欠陥の場所や原因を即座に見極める＜勘所＞といいますか・・そういうものは、一朝一夕では手に入らないですから。」

さらに、ロームの特長でもある垂直統合型生産体制の中、デバイス・プロセス・設備の各セクションが一体となってこの開発プロジェクトに取り組むことができたことも、大きな要因のひとつだと言います。
さまざまな技術的な課題を乗り越えるための「現場力」・・・！
これこそがローム浜松の持つ最大の「強み」と言えるのではないでしょうか。

続いては、それを裏付けるような開発エピソードになります。

フロント・ローディングと品質保証

EV/HEVの主機モータ駆動を担うパワーデバイスを制御する「絶縁ゲートドライバIC」。次世代モビリティの中でも最も重要なデバイスのひとつとして挙げられる製品で、ロームは2016年に世界に先駆けて量産を開始して以来、トップシェアを獲得しています。

しかし、この全く新しいこの製品の採用に当たっては、お客さまの「信頼」を得るまでに1年以上にわたる苦労があったといいます。当事者であるロームLSI事業本部技術開発担当 和田氏が証言してくれました。

その一例として挙げられたのが、製造時の異物混入に対するリスクでした。

ローム浜松では、工場設計から始まって、予防保全を含む装置管理、プロセス条件といったあらゆる側面から徹底的に「異物が発生しない」ことを前提にしたものづくりが行われています。さらに欠陥検査機による選別や、製品出荷時のスクリーニングテストによる流出対策も講じていますが、

「もしも異物が混入してしまったらどうなるか？」
「理論通りのスクリーニングが本当に機能するのか？」

を問われるケースがあったということです。

その後の試行錯誤の歩みは、このページ冒頭の動画にてご覧いただくとして、そこで得られた「品質」に対する思いを改めて聞いてみました。

もうひとつは、お客さまが感じられる疑問や不安をひとつひとつ解消するための技術や体制。これらをすべて含めて＜これが私たちの品質です＞と胸を張れるようにしたいですね。」

和田氏は開発セクションとしてローム浜松に常駐し、工程設計やシミュレーション、マスク設計、計測/解析の専門技術者を含めたチームを率いる立場にあります。自らのチームの技術力を高めていくことはもちろん、生産や設備を担う製造セクションとの「密接な関係づくり」にも注力しているとのこと。

お客さまからの疑問や不安を、開発・製造が一体となって解消していく。このような仕組みは、ロームが採用している垂直統合型体制ならではのメリットに違いありません。しかしそれ以上に、現場がひとつの方向へ向かっていく時に生じる「熱」が、お客さまの「信頼」に繋がることもあるようです。

「品質第一」の、その先へ・・・！

＜お客さまが望むスペックをクリアしている＞という返答ではなく、お客さまの元で発生するさまざまな課題に対して、お客さまと一緒になって実直に対応してくれるようなところが、我々の強みではないか、という言葉をいただきました。

私たちが日々やってきた事は、お客さまに届いているんだ！と心から嬉しかったですね。」

その時、山下氏の頭に浮かんだのは、ロームが企業目的として掲げる「品質第一」という言葉でした。それは、単に良い特性のものを供給する/良い商品を大量につくるという意味ではなく、お客さまにとっての満足、そのお客さまの先にいるエンドユーザーの満足へと繋げていくことこそが、我々にとっての「品質第一」だと改めて認識したといいます。

ともすれば、毎日のルーティンの中で効率優先や規律遵守に陥ってしまいがちな生産工場の現場において、ものづくりの根源的な意味を見つめ直すことは、決して容易いことではありません。
ひとつひとつの製品から「その先にいる人の満足」をつくり出す集団へ・・・！
その決意は、今日もまた誰かの声に耳を傾けることから始まり、未来へと繋がっていくことでしょう。

次世代半導体がつくり出す世界へ

ローム浜松では現在、12インチラインの拡張工事を進めており、2023年7月から順次稼働をスタートさせ、更なる生産量拡大を実現します。

また、新しい技術としては、更なる大電流化への市場ニーズに応えるため、12インチラインに「厚膜Cu再配線プロセス」の展開を順次進めており、更に「DTI(Deep Trench Isolation)」を搭載した0.13μm BiCDMOSのリリースを計画しています。

私たちの＜強み＞をしっかりとお客さまの声に結びつけていくことで、次世代半導体が創り出す新しい世界に貢献することができればと思っています！」