薄膜ピエゾMEMSピエゾ関連用語
ピエゾ関連用語
ピエゾに関連する用語について簡単に説明します。
用語 | 説明 |
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ピエゾ(Piezo) | 圧電素子( piezoelectric element、piezoelectric device)のこと |
圧電効果 | 力(圧力)を加えることで、電圧が発生する現象 |
逆圧電効果 | 電圧加えることで、変形が現れる現象 |
圧電素子 | 圧電効果、逆圧電効果を利用した部品、デバイス |
センサ | 現象や情報などを科学的原理を応用し、電気信号などに置き換える装置 |
アクチュエータ | 電気などのエネルギーを機械的な動きに変換し、機器を動かす駆動装置 |
イオン | 電子の過剰、または欠損により電荷を帯びた原子のこと |
圧電材料 | 圧電性を示す結晶性物質の総称 |
圧電単結晶 | 圧電材料の中で、材料内部の結晶構造が均一に連続しているもの |
圧電セラミックス | 圧電体の中で、グレイン構造やドメイン壁構造を持つもの |
グレイン構造 | 多結晶体にて、2つ以上の小さな結晶間に存在する界面 |
ドメイン壁構造 | 結晶内で分極方向の異なる境界が存在する構造 |
分極 | 電場や磁界に置いた際に、正負の電化が現れたり、磁極を生じたりする現象 |
PZT | チタン酸ジルコン酸鉛(PbZrxTi1-xO3)(0<x<1)のこと |
スパッタ | 金属表面に高エネルギー粒子を当て、飛び出してきた原子を用いた製膜方法 |
CSD | 金属の有機酸塩や化合物の溶液を塗布・焼成して薄膜形成を行う方法 |
ゾルゲル法 | CSDの一種。ゾル状態の液体を加熱、焼成させて、薄膜を得る方法 |
ゾル状態 | 液体を分散媒とするコロイド(例:石鹸水、糊、卵白、牛乳、マヨネーズなど) |
ゲル状態 | ゾル状態の流動性がなくなった状態 |
MOCVD | 有機金属気相成長法、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法 |
フットプリント | 占有面積、ここでは装置を置いた際に使用する面積のこと |
圧電体 | 応力を加えることで、分極(電圧)が生じる誘電体のこと |
焦電体 | 圧電体のうち、外から電界を与えなくても自発的に分極をしているもの |
強誘電体 | 焦電体のうち、外からの電界によって分極方向を反転させる特性をもったもの |
薄膜ピエゾ | 圧電材料の厚さが数μm程度のピエゾのこと |
バルクピエゾ | 圧電材料の厚さが数十μm以上のピエゾのこと |
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